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半导体行业千级无尘室也叫千级无尘室
目前本公司已和TCL多媒体科技控股有限公司合作
千级无尘室
无尘室净化原理
气流→初效空气处理→空调→中效空气处理→风机送风→净化管道→高效送风口→洁净室→带走尘埃(细菌) → 回风夹道→新风、初效空气处理。
重复以上过程,即可达到净化目的。
无尘室技术参数
换气次数:十万级10-15次/小时;万级15-25次/小时;千级50-52次/小时;百级操作台断面风速0.25-0.35m/s。 压差:主车间对相邻房间≥5Pa。 温度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;
相对湿度:45-65%(RH);噪声≤65dB(A);新风补充量:总送风量的20%-30%; 照度:≥300Lux。
无尘室结构材料
1.无尘室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化专用的氧化铝型材制造。无尘室门采用净化密闭门,窗采用铝合金玻璃固定窗。
2.无尘室地面采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板。
3.无尘室净化通风管道选用镀锌薄钢板制作,并采用“PEF"阻燃型的保温板做保温。
无尘室及无尘室空气中悬浮粒子洁净度等级:
等数ISO空气洁净
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大于或等于表中粒径的最大浓度限值(P/m -空气)
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洁净等级美国联邦209E
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0.1um
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0.2um
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0.3um
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0.5um
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1um
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5um
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ISO Class1
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10
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2
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ISO Class2
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100
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24
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10
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4
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ISO Class3
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1000
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237
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102
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35
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8
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1
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ISO Class4
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10000
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2370
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1020
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352
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83
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10
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ISO Class5
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100000
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23700
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10200
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3520
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832
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29
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100
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ISO Class6
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1000000
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237000
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102000
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35200
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8320
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293
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1000
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ISO Class7
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352000
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83200
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2930
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10000
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ISO Class8
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3520000
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832000
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29300
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100000
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ISO Class9
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35200000
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8320000
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293000
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300000
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