近几年,国内半导体工业的发展可以用突飞猛进来形容,面对这个技术性的发展的趋势,丽杰净化今天就对来对风淋室在半导体行业所处的位置进行分析:
风淋室在半导体工业生产车间内部有着很重要的实用性,甚至可以说,它是整个我们的环境解决方案。
早期的方案,这一块的半导体工厂的人员、车间都是在这个位置。那么,上下都是新风机,那么它的工作原理是在天花顶层有一个反复的高效作用器。这上面两个是循环空调机,也可以放在上面,也可以放在侧面。通过新风机组补充新风,通过循环风机把风淋室通过地面下来的回风,通过循环风机对于冷量和湿度的调节,然后送到静压箱进行混合,然后通过顶部循环到车间里面去。
风淋室从工作原理上,解决了我们前面一个原理。前面一个过程是什么呢?虽然是完全从顶上压下来,我们空气洁净决定空气的气流组成形式。就是从理论上,要严格地每一个空气都垂直下来,全部地压下来。这样的话,我们的空气会相当地干净,但是,事实上做起来会非常困难,其实车间的洁净度会有许多因素影响到,最常见的就是生产人员身上所带的尘埃,所以必须的从根源去阻止这些影响的因素,风淋室作为一种高速、强劲的洁净吹风装置,人员进入车间前使用风淋室来进行吹淋可大大的吹走过滤掉尘埃,从而确保不会对洁净生产车间的洁净度进行污染影响。
|