FFU系统电路的设计方式

　　洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺 辅助层，静压层相对于工艺层为负压。

　　FFU集成电路设计优点：洁净室面积可扩大、洁净等级高、温湿度控制精度高等，多数洁净室要求环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等。FFU集成电路系统刚好可以最大化满足这些要求。

　　洁净室按照回风特点分为三个系统：

　　1.FFU循环系统;

　　2.循环空调机配合高效送风口系统;

　　3.循环风机配合湿式密封系统和。

　　FFU集成电路系统的三种类型：

　　1.最适合半导体制造业的FFU循环系统

　　FFU循环系统①不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求。

　　2.最适合小规模洁净室的FFU循环系统

　　在小规模低等级要求的洁净室设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净室则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

　　3.全能型FFU循环系统

　　这种形式的设计可以满足集成电路制造洁净室大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。