FFU既是风机过滤单元的简称,它是一款自带动力的过滤净化装置。主要是有风机和高效过滤器组合而成的末端净化设备,其主要工作过程是:由空调处理机把空气(新风)处理成所需要的状态点后送入静压箱与回风混合,再经过FFU的风机加压后经过高效过滤器(HEPA)或超高效空气过滤器(ULPA)过滤后送入无尘室内;而原本的旧风则经过架空地板或者侧墙输送回到干盘管,在干盘管中经过冷(热)处理后,再由回压机送回到静压箱,这便完成整个无尘室空气过滤的循环。这样的系统最常应用在对无尘室有超静需求的场所,例如制作大型集成电路晶圆、TFT显示器、固态硬盘等等的无尘车间。这里优之净跟大家讲讲FFU最主要的特点:
1.模块化设备,可按需调整位置。
因为洁净室的壁板都是按照天花板格子的模数来布置,并且由于其特殊的节点构造,使得洁净室的壁板可随时调整位置来改变房间的布局,以此达到车间生产需求。所以在房间布局做调整时,对于某一场地的洁净度需求,也可通过调整ffu的位置来满足要求。FFU是自带动力的模块化净化设备,它不受场所过多的限制,可随时的调整位置或增减其数量来确保某一场地的洁净度要求。这是以往的集中式送风系统所不能达到的。
2.出风均匀稳定。
选用特殊的空气流通通道以及配有均流系统的设计,出风速度均匀而稳定。这个相对于以往的集中式送风系统来说,避免了各送风口风量不平衡的问题。
3.计算机控制,节能效果显著。
FFU系统的风管数量很少,除了新风需要用到风管输送以外,大量的回风都是以小循环的方式来运行的,因此大大降低了风管的阻力,从而减少了消耗。并且由于FFU的面风速一般是以0.45±20%的均匀输出,因此空气通过过滤器的的阻力变小;FFU风机过滤单元的风机功率很小,其大都采用高效率交流电机,同时对风机叶轮形状也进行了改进,且材质多采用铝合金制作防止再次生尘,大大提高了其综合效率。相比于传统的集中式送风方式,使用FFU送风过滤更能有效的节能40%以上。因此,虽然在初期FFU系统成本比较高,但是在后期维护与能耗使用中能很好的节约回来。
4.缩短建设周期。
因为FFU风机过滤单元的送风系统不像集中式送风那样需要巨大的送回风管,所以对于某些层高紧张的无尘室改建项目是非常合适的,且最主要的是因为不需要制作风管,所以大大缩短了制作与安装的工期,对于企业来说,缩短工期,快速开工带来收益,选用FFU成为了一种可能。
5.负压通风。
由于FFU风机过滤单元自身能够提供静压,所以其送风静压箱相对于洁净室来说,是负压,送风静压箱内的颗粒就不再受到压力的作用而泄漏到洁净区内,因此即使风口安装出错,存在泄漏问题,那也是从洁净室泄露到送风静压箱中,从而使得密封变得更简单、更安全。
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